解决方案

半导体工业

方案概述

nanoTHz纳米分辨太赫兹成像和光谱系统在半导体工业中有着巨大的应用潜力,受益于太赫兹良好的穿透性和低能量以及纳米级的高空间分辨率,系统对半导体产品可进行无损检测,表征其太赫兹波段下的载流子浓度分布和响应。

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半导体工业


nanoTHz纳米分辨太赫兹成像和光谱系统在半导体工业中有着巨大的应用潜力,受益于太赫兹良好的穿透性和低能量以及纳米级的高空间分辨率,系统对半导体产品可进行无损检测,表征其太赫兹波段下的载流子浓度分布和响应。


方案优势

  • 无损检测
    无损检测

    无损检测

    系统对半导体产品可以进行 无损检测

  • 穿透性好
    穿透性好

    穿透性好

    受益于太赫兹良好的穿透性以及纳米级的超高空间分辨率

  • 超高空间分辨率
    超高空间分辨率

    超高空间分辨率

    纳米级的超高空间分辨率,系统对半导体产品可进行无损检测

  • 低能量
    低能量

    低能量

    受益于太赫兹良好的低能量以及纳米级的超高空间分辨率

电话咨询

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