太赫兹（THz）介于红外和微波之间，电磁频谱中位于0.1~10THz（对应波长范围30um~3000um），在国防军工、生物医疗、天文探测等众多领域具有极高应用潜力。然而，根据瑞利散射定理，太赫兹仪器的空间分辨率受制于激发半波长，一般在数十至数千微米之间，极大地限制了其微纳领域的广泛应用。纳米太赫兹显微光谱系统结合原子力显微镜和太赫兹源激发技术，可以在纳米级空间分辨率实现太赫兹的成像和谱学分析。
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