纳米太赫兹在半导体材料中的应用

2021-12-23 来源:原创 浏览量:1486

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nanoTHz纳米分辨太赫兹成像和光谱系统在半导体工业中有着巨大的应用潜力，受益于太赫兹良好的穿透性和低能量以及纳米级的高空间分辨率，系统对半导体产品可进行无损检测，表征其太赫兹波段下的载流子浓度分布和响应。

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